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上海長方光學儀器有限公司

新品發布|日本高新技術公司3D光學干涉測量系統“VS1800”強勢登場

2019-03-05 10:24:06  來源:儀器網原創 瀏覽量:3609次
【導讀】日立高新技術發布利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態測量的納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800”,該產品主要用于半導體、汽車、食品、醫藥品等產業領域的材料研究和開發方面。

   日立高新技術科學公司宣布,在中國開始銷售利用光干涉原理進行非接觸式無損傷三維表面形態測量的納米尺度3D光學干涉測量系統“VS1800”,該產品搭配有支持多目的表面測量國際標準“ISO 25178*1參數對比工具”,通過簡單而準確的樣品測量支持客戶的分析業務,與此同時,憑借不斷創新積累的三維測量性能,實現高精度、高分辨率的表面性狀的測量。

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   此次發售的“VS1800”產品, 搭配了符合ISO 25178標準的分析工具 “ISO 25178參數對比工具”。在ISO 25178標準中規定了評估表面性狀的32個項目的參數,但在對比樣品時,選擇最適合評估的參數很難,成為分析業務的難題。“ISO 25178參數對比工具”,通過按差異程度大小順序自動對測量的參數值進行依次排序,可輕松選出最適合對比樣品的參數,從而支持客戶的分析業務。

   此外,“VS1800” 產品,通過光干涉方法*4除了可實現大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現性外,亦通過日立高新技術科學自主研發的技術,繼承了多層膜的無損傷測量等傳統產品的高測量性能。此外,該產品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能,通過捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化,實現傳統的光干涉方式無法實現的大傾斜角斜面測量,從而應對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。

   日立高新技術集團擁有可實現極微細樣品的高分辨率測量的原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡直至大視野、高精度測量可能的“VS1800”等產品陣容,提供表面分析解決方案,從而滿足客戶的廣泛需求。

 *1 ISO 25178:規定表面形態評估方法的國際標準。

 *2掃描型白色干涉顯微鏡:利用光干涉原理進行非接觸式、無損傷的表面形態測量的測量設備。

 *3激光顯微鏡:將激光作為光源進行表面形態測量的測量設備。 

 *4光干涉方法:是利用兩列或兩列以上的光波相互疊加而出現光明暗(干涉條紋)現象(干涉)的檢查方法。

 *5 0.01 nm的垂直方向分辨率為Phase模式時的性能。

 *6“大傾斜角測量選配”為選擇項目。


 

  注:日立高新技術以成為深受客戶信賴的企業為目標,通過開展基于高新技術解決方案的"創造價值"為基礎的事業活動,為社會的發展進步貢獻力量。本公司在本著"公正透明"的誠信理念進行經營活動,在實現持續成長的同時,也充分重視在環保上與"環境的協調"。作為充滿熱情和自豪感的企業市民,為實現富裕的社會盡自己的力量。


【產品詳情介紹】https://www.hitachi-hightech.com/cn/product_detail/?pn=vs1800&version=  查看

【聯系方式】日立高新技術(上海)國際貿易有限公司北京分公司

 負責人:耿嬋嬋  TEL:010-6590-8705



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2019-03-05 10:24:06
標簽:干涉儀
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