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日立高新技術2019再創佳作 VS1800納米尺度3D光學干涉測量系統震撼上市

上市時間:2019年03月05日
產品類別:干涉儀/激光干涉儀/白光干涉儀
品牌:日立
型號:VS1800
產品詳情

納米尺度3D光學干涉測量系統 VS1800

品牌:日立
型號:VS1800
供應商:日立儀器(上海)有限公司

創新點

【整機創新】

相比較利用光干涉原理的白光干涉掃描顯微鏡,納米尺度3D光學干涉測量系統VS1800,使用更方便,測量精度跟高,測量范圍更大。

采用獨創的算法,實現垂直方向分辨率0.01 nm(Phase模式下)。由于無需依賴于物鏡的倍率即可實現較高的垂直方向分辨率,即使是大范圍(最大測量視野6.4 mm × 6.4 mm)的情況下,也能測量納米尺度的粗糙度、高差。

【智能化、自動化程度提升】

搭載有可直觀性使用的操作畫面,可以當場確認處理后的圖像。可以簡單地將處理及分析內容列表、生成原始分析庫、重復使用分析庫等。還支持數據的批量處理,統一管理多個樣品及分析結果,減輕繁雜的后處理程序。
此外,導入表面形貌評估方法的國際標準ISO25178的項目,自動按每個樣品選擇合適的參數。VS1800搭載有可對參數選擇提供建議的工具,有助于提高管理的精度。

【外形優化】

手動XY樣品臺為基本型號Type 1,并提樣品臺電動化逐級提升的Type 2以及Type 3。各型號的升級可通過需求來進行,根據用途輕松引進系統。


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